极智芯(北京)科技有限公司(以下简称“极智芯”)成立于2018年6月,致力于半导体行业真空设备研发、集成、生产与销售,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。
主营产品种类包括:反应离子刻蚀(RIE)、离子束刻蚀系统(IBE)、反应离子束刻蚀系统(RIBE)、感应耦合等离子刻蚀(ICP)、双离子束溅射沉积(IBD)、磁控溅射、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、真空蒸发镀膜系统、环模设备、真空排汽台等。
目前,已有百余台设备进入了航天系统、中电科、中科院和国内一流大学等多家科研院所与制造单位,这些成套设备及工艺研究成果主要用于多学科多领域的基础、前沿课题跟踪研究和应用研发,而且特别突出为国家重大型号任务服务。